Die Bestimmung von richtungsabhängigen Materialdaten konnten wir bereits für verschiedene Anwendungen und Materialien durchführen. Die Anfrage, ob wir dies auch für Siliziumwafer bestimmen können, war jedoch auch für uns Neuland.

Siliziumwafer haben je nach Ausführung unterschiedliche Wachstumsrichtungen der Kristallstruktur, die Materialeigenschaften weisen je nach dessen Orientierung unterschiedliche Werte auf. Die Bestimmung der richtungsabhängigen Werte stellt klassische Prüfverfahren wie Zugversuche oder Ultraschallmesstechnik vor grosse Hürden, da das Material sehr dünn, spröde und schwer zu bearbeiten ist.

Dank der EMATRUS-Technologie konnten die elastischen Materialeigenschaften von Siliziumwafern richtungsabhängig bestimmt werden. Durch die berührungslose Sensortechnik sogar zerstörungsfrei und ohne Präparation der empfindlichen Bauteile.